YYVIP易游Sensofar白光干涉仪运用ePSI干涉技术实现CMOS的高精度3D轮廓测量

　　YYVIP易游·(中国有限公司)官方网站CMOS技术是现代几乎所有数字芯片(如CPU、GPU、内存、手机处理器)的两种晶体管互补组合，实现了高集成度、低功耗和高速运算。由于其低功耗、可扩展性和紧凑的设计能力，它被广泛应用于微处理器和存储器等数字应用中。所以，在分层过程之前和之后至关重要，检测可能影响后续层的完整性和对齐的任何翘曲或应力，确保电路形成的准确性和可靠性。

　　由于CMOS为超光滑表面，一般的测量仪器很难达到如此高的精度要求，且高倍镜头的视野较小，在测量较大的样品时需做拼接，而在拼接时易产生一定的测量误差。

　　Sensofar的S neox 3D光学轮廓仪通过使用ePSI干涉技术和2.5倍镜头测量CMOS，我们可以在2.5xTI确保测量精度的同时，大视野涵盖完整的CMOS。

　　对于硅片等超光滑表面，平整度测量一般使用ePSI进行。此外，我们的软件套件如SensoPRO还支持多种ISO标准，允许使用ISO25178生成所需的粗糙度参数，或使用ISO12781生成平整度参数。

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　　Sensofar是一家资深技术公司，专利四合一融合技术，深耕表面测量技术领域，提供在线测量解决方案。

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